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怎么提高濾光片膜層強度?

2020-08-11 19:24:28 NMOT

怎么提高濾光片膜層強度?

一款高品質濾光片應該有那些特征呢?

高品質的濾光片在使用上應該經久耐用,滿足客戶的使用環境需求,長期的使用而保持穩定的光學特性。那么一款高品質的濾光片,高可靠性的濾光片是怎么制造出來的呢?深圳納宏光電帶您了解一下。

高品質的濾光片膜層的機械性能受附著力、應力、聚集密度等的影響,由濾光片膜層材料和工藝因素之間的關系可知如果要提高濾光片膜層的機械強度就應該著重考慮以下幾個工藝參數;

(1)真空度。

真空度對濾光片膜層薄膜的性能影響是很明顯的。濾光片膜層絕大部分性能指標的好壞對真空度的依賴性很大。濾光片膜層聚集密度增大濾光片膜層牢固度增加,光學濾光片膜層結構得到改善。

(2)沉積速率。

提高鍍膜機內的沉積速率不僅可以用提高蒸發速率,提高蒸發源溫度的辦法,還可以用增大蒸發源面積的辦法來達到。

(3)基片溫度。

提高基片溫度有利于將吸附在基片表面的剩余氣體分子排除,增加基片沉積分子之間的結合力使濾光片膜層結構緊密。

(4)離子轟擊。

離子轟擊對高凝聚力表面的形成、表面粗糙度、氧化作用和聚集密度有影響增加濾光片膜層的附著力;鍍后轟擊可以提高濾光片膜層聚集密度。

(5)基片清潔。

基片清洗方法不適當或不潔凈,在基片上殘留有雜質或清潔劑,影響到第一濾光片膜層的結構特性和光學厚度改變濾光片膜層特性。

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